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射频电源GW4040
射频电源GW4040,是广泛应用在太阳能电池和半导体制造过程中,等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)镀膜工艺上的特种电源。输出有独立双通道,每通道功率可达20kW,可以输出方波电压波形,满足不同镀膜工艺要求。
射频电源GW4040-P
射频电源GW4040-P,是广泛应用在太阳能电池制造过程中,PE-Poly工艺上的特种电源。输出有独立双通道,每通道功率可达20kW,可以输出方波电压波形,满足不同镀膜工艺要求
射频电源GW20040-F
射频电源GW20040-F, 具备独立双通道的射频电源设备。每通道功率可达20kW,可以输出方波电压波形,满足多种镀膜工艺要求。
射频电源GW4060
射频电源GW4060,是广泛应用在太阳能电池和半导体制造过程中,等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)镀膜工艺上的特种电源。输出有独立双通道,每通道功率可达30kW,可以输出方波电压波形,满足不同镀膜工艺要求。
射频电源GW4030
射频电源GW4030,具备单通道输出的射频电源设备。单通道功率可达30kW,可以输出方波电压波形,满足不同镀膜工艺要求。
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